申請/專利權人：深圳市智立方自動化設備股份有限公司

申請日：2022-07-22

公開（公告）日：2023-03-17

公開（公告）號：CN218647909U

主分類號：H01L21/687

分類號：H01L21/687;H01L21/683;G01N33/00

優先權：

專利狀態碼：有效-授權

法律狀態：2023.03.17#授權

摘要：本實用新型提出的一種芯片頂針機構，通過手動滑臺A和手動滑臺B，用于調節頂針機構的X\Y方向，便于快速準確標定頂針和芯片中心。進一步地，機構中的頂針和頂柱頭分別通過頂針滑塊板、頂柱板分別聯動，分別利用兩個步進電機工作，可以使得頂柱頭和頂針單獨往復抬升；剝離芯片對時候，頂柱頭和頂針抬升到相同對高度，然后開啟真空利用頂柱頭吸附住晶圓對藍膜，隨著外部取料吸嘴向下移動到芯片表面對位置，此時頂針和吸嘴將芯片夾在中間，隨后控制步進電機，將頂柱頭向下運動，則頂柱頭將吸附著對藍膜也向下拉扯，進而芯片就與藍膜分離，外部吸嘴則有效地將芯片取走。頂針和頂柱頭分開運動并剝離芯片對方式能夠確保芯片不被頂針頂歪，從而取料準確。

主權項：1.一種芯片頂針機構，其特征在于，所述芯片頂針機構包括頂針模組7，所述頂針模組7包括：頂針組件固定塊701、手動滑臺A702、頂針組件限位塊703、底板704、導軌A708、手動位移臺滑塊板709、頂針模組豎板710、導軌C740、氣缸737，其中：在所述頂針模組豎板710右側安裝頂針組件固定塊701，在所述頂針模組豎板710左側安裝手動位移臺滑塊板709；所述頂針組件固定塊701下方安裝有底板704，在頂針組件固定塊701和底板704之間設置有手動滑臺A702和導軌C740，用于整體調節頂針模組7，并且在頂針組件固定塊701的末端設置有頂針組件限位塊703，用來固定手動滑臺A702；在頂針模組豎板710和手動位移臺滑塊板709之間豎直安裝有導軌A708；在頂針模組豎板710的側邊安裝有氣缸737，氣缸737的缸體固定在頂針模組豎板710上，氣缸737的活動導桿頭部通過氣缸推桿頭739固定在手動位移臺滑塊板709上，在氣缸737的活動導桿頭部位置還設置有浮動接頭738。

全文數據：

權利要求：

百度查詢： 深圳市智立方自動化設備股份有限公司 芯片頂針機構

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