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【發明公布】半導體結構及其制作方法_蘇州晶湛半導體有限公司_202080102419.1 

申請/專利權人:蘇州晶湛半導體有限公司

申請日:2020-08-13

公開(公告)日:2023-03-17

公開(公告)號:CN115812246A

主分類號:H01L21/336

分類號:H01L21/336

優先權:

專利狀態碼:在審-公開

法律狀態:2023.03.17#公開

摘要:本申請提供了一種半導體結構及其制作方法,半導體結構包括:自下而上分布的半導體襯底、背勢壘層、溝道層與刻蝕終止層;以及位于刻蝕終止層上的源極區域與漏極區域的P型半導體層。由于刻蝕終止層的設置,使得刻蝕去除柵極區域的P型半導體層時,可停止在刻蝕終止層,能準確控制刻蝕深度、不會造成溝道層的刻蝕損傷,從而可以提高半導體結構中溝道內的空穴載流子的遷移率,提高器件的良率及性能。

主權項:一種半導體結構,其特征在于,包括:自下而上分布的半導體襯底10、背勢壘層11a、溝道層11b與刻蝕終止層12;以及位于所述刻蝕終止層12上的源極區域與漏極區域的P型半導體層13。

全文數據:

權利要求:

百度查詢: 蘇州晶湛半導體有限公司 半導體結構及其制作方法

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