申請/專利權人：德揚科技股份有限公司

申請日：2021-09-14

公開（公告）日：2023-03-17

公開（公告）號：CN115807210A

主分類號：C23C14/22

分類號：C23C14/22;C25D7/06;C25D3/12;C25F3/02

優先權：

專利狀態碼：在審-公開

法律狀態：2023.03.17#公開

摘要：本發明提供一種防污膜及其用途。所述防污膜，包含：一金屬材料的軟片材，其中，且所述軟片材的中心線算術平均粗糙度Ra為0.1微米μm至6μm、面的算術平均高度Sa為0.1μm至6μm、界面展開面積比Sdr為0.1至6、相對于光滑面的比例Surf％為160％至700％。其具有強大抓附力。因此，本發明另外提供一種防污膜的用途，其用于增長一薄膜沉積設備進行一薄膜沉積制程的上機時間、提高上機使用效率，其中，所述防污膜是前述防污膜。本發明能使薄膜沉積的產品無污染、提高產品品質。

主權項：1.一種防污膜，其特征在于，包含：一軟片材，其中，所述軟片材包含一金屬材料；所述軟片材的中心線算術平均粗糙度Ra為0.1微米至6微米、所述軟片材的面的算術平均高度Sa為0.1微米至6微米、所述軟片材的界面展開面積比Sdr為0.1至6、所述軟片材的相對于光滑面的比例Surf％為160％至700％。

全文數據：

權利要求：

百度查詢： 德揚科技股份有限公司 防污膜及其用途

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