申請/專利權人：長鑫存儲技術有限公司

申請日：2021-09-13

公開（公告）日：2023-03-17

公開（公告）號：CN115805343A

主分類號：B23D79/00

分類號：B23D79/00

優先權：

專利狀態碼：在審-公開

法律狀態：2023.03.17#公開

摘要：本申請提供一種切割裝置，涉及半導體技術領域，用于解決手動切割研磨墊本體存在效率低的技術問題，該切割裝置包括底座、第一驅動件以及刀具架，刀具架通過調節組件安裝在所述底座上，調節組件用于調整所述刀具架與底座的相對位置，其中，刀具架包括支架以及間隔設置在支架上的至少兩個刀具；第一驅動件的輸出軸與支架連接，第一驅動件驅動支架繞所述輸出軸的軸向旋轉，以切割研磨墊本體。本申請通過第一驅動件驅動刀具進行旋轉，切割研磨墊本體，以得到所需的研磨墊，與相關技術中，手動切割研磨墊本體的技術方案相比，可以提高切割效率和降低誤傷操作人員的風險。

主權項：1.一種切割裝置，其特征在于，包括：底座，所述底座具有承載面，所述承載面用于承載待切割的研磨墊本體；刀具架，所述刀具架通過調節組件安裝在所述底座上，所述調節組件用于調整所述刀具架與所述底座的相對位置，其中，所述刀具架包括支架以及間隔設置在所述支架上的至少兩個刀具；第一驅動件，所述第一驅動件的輸出軸與所述支架連接，所述第一驅動件驅動所述支架繞所述輸出軸的軸向旋轉，以切割所述研磨墊本體。

全文數據：

權利要求：

百度查詢： 長鑫存儲技術有限公司 切割裝置

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